一、产品介绍
产品名称：
中文名称：全氟丁基磺酸三苯基锍盐
英文名称：Triphenylsulfonium perfluoro-1-butanesufonate (TPS-PFBS , TPS-Nf)
JSR公司 美国3M公司 Sigma-Aldrich公司(产品号531057)
分子式：CF3(CF2)3SO3S(C6H5)3
分子量：562.47
CAS登记号：144317-44-2
二、理化性质
白色结晶粉末，熔点：84-88℃，含量〉99%(电子工业级)。
溶解性：丙二醇单甲基醚酯(PGMEA)：约50%，γ-丁基内酯：约65%，乙酸乙酯：约65%。
PAG-4L在树脂和溶剂中溶解性能好，酸性强，纯度高，热稳定性高，挥发性低。
三、用途
表面活性剂(SAA)，阳离子光引发剂，光致产酸剂(PAG)，与全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)相比，安全、卫生、低毒、环境友好，可作为目前157-nm、193-nm、248-nm光刻胶中常用光酸剂(PAG)全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)的替代品。 |
